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精密测量仪器 TMI-8000 系列

纳米级精度测量,满足高端制造严苛要求

精密测量仪器

TMI-8000 系列精密测量仪器采用先进的激光干涉技术与高精度传感器,实现纳米级尺寸测量,广泛应用于航空航天、汽车制造、电子半导体等高端制造领域。

  • 测量精度可达 0.001μm,重复精度 ±0.002μm
  • 支持 2D/3D 尺寸测量,自动数据记录与分析
  • 全自动测量流程,支持多工位同时检测
  • 兼容多种数据格式,可无缝对接MES系统

产品细节

高精度传感器

高精度激光传感器

控制系统

智能控制系统

测量平台

防震测量平台

软件界面

数据分析软件

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